KQ6001型德國IFM電容式傳感器的優(yōu)點有四個:
1)溫度穩(wěn)定性好
德國IFM電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關,這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,又因本身發(fā)熱極小,影響穩(wěn)定性甚微。而電阻傳感器有銅損,易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。
2)結構簡單
德國IFM電容式傳感器結構簡單,易于制造和保證高的精度,可以做得非常小巧,以實現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高溫,強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中,可以承受很大的溫度變化,承受高壓力,高沖擊,過載等;能測量超高溫和低壓差,也能對帶磁工作進行測量。
3)動態(tài)響應好
德國IFM電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個10^(-5)N),需要的作用能量極小,又由于它的可動部分可以做得很小很薄,即質量很輕,因此其固有頻率很高,動態(tài)響應時間短,能在幾兆赫茲的頻率下工作,特別適用于動態(tài)測量。又由于其介質損耗小可以用較高頻率供電,因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數(shù)。
4)可以非接觸測量且靈敏度高
可非接觸測量回轉軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時,德國IFM電容式傳感器具有平均效應,可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。
德國IFM電容式傳感器除了上述的優(yōu)點外,還因其帶電極板間的靜電引力很小,所需輸入力和輸入能量極小,因而可測極低的壓力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很靈敏,分辨力高,能感應0.01μm甚至更小的位移。由于其空氣等介質損耗小,采用差動結構并接成電橋式時產(chǎn)生的零殘極小,因此允許電路進行高倍率放大,使儀器具有很高的靈敏度。
德國IFM電容式傳感器由上下電極、絕緣體和襯底構成。當薄膜受壓力作用時,薄膜會發(fā)生一定的變形,因此,上下電極之間的距離發(fā)生一定的變化,從而使電容發(fā)生變化。但電容式壓力傳感器的電容與上下電極之間的距離的關系是非線性關系,因此,要用具有補償功能的測量電路對輸出電容進行非線性補償。
德國IFM電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件,將被測物理量或機械量轉換成為電容變化量變化的一種轉換裝置,實際上就是一個具有可變參數(shù)的電容器。德國IFM電容式傳感器廣泛用于位移、角度、振動、速度、壓力、成分分析、介質特性等方面的測量。常用的是平行板型電容器或圓筒型電容器。
德國IFM電容式傳感器具有結構簡單、耐高溫、耐輻射、分辨率高、動態(tài)響應特性好等優(yōu)點,廣泛用于壓力、位移、加速度、厚度、振動、液位等測量中。但在使用中要注意以下幾個方面對測量結果的影響:①減小環(huán)境溫度、濕度變化(可能引起某些介質的介電常數(shù)或極板的幾何尺寸、相對位置發(fā)生變化);②減小邊緣效應;③減少寄生電容;④使用屏蔽電極并接地(對敏感電極的電場起保護作用,與外電場隔離);⑤注意漏電阻、激勵頻率和極板支架材料的絕緣性。
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