美國mks真空計的選型指南mks真空計測量低于大氣壓的氣體壓強的工具稱為真空計。也叫真空規(guī)。凡能從其本身測得的物理量（如液柱高度、工作液、比重直接計算出氣體壓力的稱真空計，這種mks真空計測量精度較高，主要用作基準量具。mks真空計主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性（如熱傳導(dǎo)、電離、粘滯性和應(yīng)變等）與壓力的關(guān)系間接測量，其測量精度較低，而且測量結(jié)果還與被測氣體種類和成分有關(guān)。因此相對真空計必須用真空計標定和校準后方能用作真空測量。美國mks真空計但它能直接讀出被測壓力，使用方便，在實際應(yīng)用中占絕大多數(shù)。mks真空計需要測量的壓力范圍為105～10-11帕，甚至更小,寬達16個數(shù)量級以上,尚無一種真空計能適用于從粗真空(105～102帕)、低真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高真空（小于10-5帕）到*真空（小于10-10帕）的全范圍測量,因而有多種真空計。zui常用的有U形管真空計、壓縮式真空計、電阻真空計和冷熱陰極電離真空計，以及可以連續(xù)測量的復(fù)合真空計。美國mks真空計的選型特點：
低成本傳感器的替代方案
緊湊型系統(tǒng)設(shè)計，將電路與傳感器集成與一體
由于傳感器具有快速的、準確的和可重復(fù)性的壓力測量，從而縮短了工藝周期時間。
擁有清潔的、牢固的設(shè)計和不銹鋼結(jié)構(gòu)，因此傳感器適合于環(huán)境嚴苛的工藝
易于操作，具備模擬輸出和數(shù)字通信功能
由設(shè)定點繼電器獲得的工藝控制具有快速的響應(yīng)時間。
美國mks真空計的主要參數(shù)：
測量范圍：0.1至1000Torr
精度（10-1000Torr）：±1%讀數(shù)
重復(fù)性：±0.3%讀數(shù)
電源要求：9至30VDC < 1.2W美國mks真空計的選型指南
|
|
|
|
|
 |
